【摘 要】
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本文描述了一种直接计数式激光外差测振装置。此装置利用计数方法实现了以高精度对物体振幅和振频的同时测量。整个测量由微处理机进行测量控制、数据实时处理。此装置测量振
【机 构】
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上海激光技术研究所,上海激光技术研究所 中国计量科学研究院
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本文描述了一种直接计数式激光外差测振装置。此装置利用计数方法实现了以高精度对物体振幅和振频的同时测量。整个测量由微处理机进行测量控制、数据实时处理。此装置测量振幅的相对精度达1%(A_v>10μm),测量振频的相对精度优于0.5%。
This paper describes a direct counting laser heterodyne vibration measuring device. This device uses the counting method to realize the simultaneous measurement of the amplitude and the vibration frequency of the object with high precision. Measurement by the microprocessor to measure the entire control, real-time data processing. The relative accuracy of this device measured amplitude was 1% (A_v> 10μm) and the relative accuracy of the measured vibration frequency was better than 0.5%.
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