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具有三自由度的微位移器的组成为：掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0．15mm的二个同心圆环，用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上，铜片的中央焊有一根长100mm，直径Ф2．5mm的铜杆，其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台，作为微位移器的工作台。在外圈的PZT陶瓷环被四等分成四个彼此分开的扇形，其中相邻二个扇形的极化方向与中央PZT陶瓷环的极化方向相同，其余两个扇形的极化方向则与此相反。中央陶瓷环和极化方向不同的二组陶瓷扇形分别同3个直流电源相联。通过适当变化加在三组压电陶瓷上的电压，引起压电陶瓷变形，从而使