【摘 要】
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目的验证大粒径（〉30μm）SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考。方法制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO
【机 构】
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浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州职业技术学院友嘉机电学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51575492);浙江省教育厅科研项目(Y201326972);浙江省教育厅高校访问学者教师发展项目(FX2014149)~~
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目的验证大粒径（〉30μm）SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考。方法制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO2固结磨具加工蓝宝石,以去除率、表面粗糙度为评价指标,研究磨粒粒度、结合剂比例、磨粒含量对加工效果的影响。结果 6种不同粒径（均〉30μm）的SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石,表面粗糙度均有改善,粒径越小,改善效果越好。结合剂中,活性Mg O、MgCl2和H2O三者的摩尔比会影响去除率和粗糙度。磨具磨粒的含量高,去除率高,粗糙度小。结
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