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膜层厚度的精确控制是提高光学薄膜性能的关键技术。利用膜系的特征矩阵分析了吸收膜层消光系数对监控的影响，并给出了实例分析。给出了确定吸收膜层监控波长和监控次数的方法。最后通过镀制实验，表明考虑膜层消光系数的影响后，即使采用有较大吸收的监控光进行监控，所镀膜层也有较高的监控精度。实测膜系光谱性能良好。