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综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响.
磁性薄膜微电感器件的研究进展
【摘 要】
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综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2005年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金，上海市纳米科技专项基金
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