影响RF激励CO2波导激光器高效运转的因素

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着重讨论了影响RF激光CO2波导激光器高效运转的几个因素,指出要提高RF功率的高效转换,必须获得均匀稳定的放电,其中阻抗匹配技术,RF源频率,气体混合比等起着重要作用。
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