等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhijie882008
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出所需透过率的膜层结构。结果表明:等离子体增强原子层沉积制备的薄膜原子力显微镜表面形貌晶粒分布均匀,薄膜致密,红外光谱显示制备的薄膜为高纯度的SiO2和Si3N4,薄膜的透水率降低了2个数量级,可见光范围透过率可达到94%。
其他文献
针对现有国产平台服务器稳定性差,以及缺乏有效的故障诊断手段,提出了一种基于窄带物联网(NB-IoT)的服务器运行状态监测及故障诊断系统。该系统由服务器基板管理控制器(BMC)、数据采集模块、无线加密传输模块和OneNET云端故障诊断模块构成,可实现服务器核心电压、温度和风扇转速等状态参数采集,并通过NB-IoT模块将采集数据上传至OneNET云端以进行故障诊断和预测分析。试验结果表明,该系统稳定性强且故障诊断准确率高,符合设计要求。
开展农村水系综合整治,建设水美乡村,是贯彻习近平生态文明思想和治水重要论述的具体行动,是促进农村产业兴旺、乡风文明的重要抓手,也是补齐农村水利突出短板的迫切需要,对
期刊
针对指挥控制数据链,提出了一种基于能力的体系结构设计方法。首先,通过深入调研现有体系结构设计方法研究现状,分析了体系结构设计技术的发展趋势,在此基础上,提出了指挥控制数据链体系结构设计的实际需求;然后,基于美国国防部体系结构框架(DoDAF)规范,描述了该方法的设计流程;最后,总结了设计过程中需关注的一些问题并给出了建议。
针对相关滤波跟踪器难以处理目标尺寸变化问题,提出了一种基于特征融合和时空正则化的尺度自适应相关滤波跟踪(SACFT)算法,同时结合方向梯度直方图(HOG)特征和颜色特征,以进一步提高整体跟踪性能。使用时空正则化相关滤波器处理边界效应问题,并用交替方向乘子法(ADMM)求解目标函数,使其收敛到全局最优。最后,不同场景的定量和定性试验结果表明该算法在目标尺度变化方面具有较好的鲁棒性。
提出了一种激光与惯性混合的大空间多人动作捕捉方法,通过集成数据采集、数据传输网络和计算单元3个模块构建动作捕捉系统,实现了激光与惯性动作捕捉技术的优势互补,解决了光学定位易受遮挡导致动作丢失以及惯性动作捕捉技术误差积累的问题。该方法是一种低成本、抗干扰和高精度的大空间多人动作捕捉解决方案,适用于虚拟沉浸式多人协同训练场景。
编队识别是空中作战态势认知能力提升的基础和关键,为了满足空中作战编队模型灵活构建与运用、目标编队实时研判及模型工程应用需求,提出了基于规则的空中作战编队识别方法。以规则方式提炼和运用空中作战编队知识,通过搭建规则推理平台组织和运行规则,并实时匹配空战场数据以快速识别目标编队,从而辅助指挥员快速认知敌方空情。仿真结果表明,该方法可有效识别典型空中编队,具有工程应用价值。
湄洲岛紧靠福建省“黄金海岸”湄洲湾,犹如嵌入浩瀚汪洋中的一块翡翠在蓝与绿的交融互动是熠熠生辉.水系连通及农村水系综合整治项目,使湄洲岛农村蓝绿空间容积明显增大,有效
期刊
采用多弧离子镀方法在曲轴模具4Cr5MoVSi1热作模具钢表面制备了Ti/CrN和Ti/TiN/Cr镀层,对比分析了两种镀层的物相组成、显微形貌和抗铝液腐蚀能力。结果表明,Ti/CrN镀层主要由Ti和CrN相组成,而Ti/TiN/Cr镀层主要由Ti、TiN和CrN相组成,两种镀层的表面形貌相似,都可见亮白色颗粒以及少量显微凹坑;Ti/CrN和Ti/TiN/Cr镀层的平均显微硬度分别为27.74和30.72 GPa,分别为基体的5.44和6.02倍;随着腐蚀时间延长,曲轴模具基体的铝液腐蚀深度逐渐增加,在腐
2021年水博览会,汇中仪表股份有限公司携多款提升农田用水和城乡供水计量能力的仪表亮相.一款是专用于0.3~1m渠宽的多声路明渠流量计,具有一体化设计、集成化程度高、电池供电
期刊
为探究热处理对激光选区熔化(Selective Laser Melting,SLM)成形18Ni300马氏体时效钢力学性能的影响,利用激光选区熔化技术制备18Ni300马氏体时效钢试样,分别对成形试样进行