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介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学地（ＦＳ－ＭＯＢ）的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅（ＳｉＯ２）作光学材料、光刻胶和溅射铜（Ｃｕ）薄膜作牺牲层层、电镀铁镍作支撑结构的制作自由空间微光学元件的新工艺。研制成功多种与基底相垂直的三维位相型微光学元件。
自由空间微光学元件的研制
【摘 要】
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介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学地（ＦＳ－ＭＯＢ）的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅（ＳｉＯ２）作光学材料、光刻胶和溅射铜（Ｃｕ）薄膜作牺牲层层、电镀铁镍作支撑结构的制作自由空
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心,上海交通大学应用物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年3期
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