【摘 要】
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采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器.扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示
【机 构】
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深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
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采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器.扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm～100 μm之间,传感器最佳工作电流区间为120～130 mA,其中微米四足体制备的传感器灵敏度高达127,展现出优异的气敏特性.在4种结构中,微米四足体材料内部的Vo缺陷含量最高,结合气敏测试与荧光光谱结果,我们认为材料内部的VO缺陷含量是影响材料气敏特性的最重要因素.
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