【摘 要】
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这个光重排反应在光敏高分子中的应用最近已有报道。我们利用这种光照后其水溶性发生变化的性质,合成了含吡啶鎓伊利德的水显影光致抗蚀剂。 合成路线如下:
The applicatio
【机 构】
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武汉大学化学系,武汉大学化学系,武汉大学化学系 武汉 430072,武汉 430072,武汉 430072
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这个光重排反应在光敏高分子中的应用最近已有报道。我们利用这种光照后其水溶性发生变化的性质,合成了含吡啶鎓伊利德的水显影光致抗蚀剂。 合成路线如下:
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