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利用PBII技术制备了TiN／DLC和TiN／Ag固体润滑膜，研究了膜层物成分结构及真空条件下的摩擦性能。结果表明：PBII有效地实现了表层润滑膜与基体之间成分和结构的过渡；真空条件下，接触面光滑（Ra＜0．1μm）的DLC与Ag之间的摩擦系数为0．09左右，DLC膜之间的摩擦系数也在0．09附近，且TiN/DLC润滑膜互为摩擦副的耐磨性能高于TiN/Ag润滑膜，可获得良好的真空运转寿命。