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本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
单晶圆擦洗技术及优化方案的研究
【摘 要】
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本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2019年6期
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