【摘 要】
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近日，由北方微电子自主研发的国内首台12英寸14nmFinFET等离子硅刻蚀机正式进入上海集成电路研发中心（ICRD），与客户共同开展研发工作。上海集成电路研发中心于2002年12月组建成立
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近日，由北方微电子自主研发的国内首台12英寸14nmFinFET等离子硅刻蚀机正式进入上海集成电路研发中心（ICRD），与客户共同开展研发工作。上海集成电路研发中心于2002年12月组建成立，2007年5月被国家发展和改革委员会等六部委核准为国家级集成电路研发中心。此次14nm高端微电子装备的顺利进厂标志着中国集成电路装备技术取得了新的突破，也预示着中国集成电路产业即将迈人全新的技术时代。
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