【摘 要】
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为了更深入地研究半导体气敏器件的气敏－光学特性，进一步提高其性能，根据半导体气敏元件的机理及光波在导电媒质中的传播，本文在实验基础上建立了氧化物半导体气敏膜片的光学特性
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为了更深入地研究半导体气敏器件的气敏－光学特性，进一步提高其性能，根据半导体气敏元件的机理及光波在导电媒质中的传播，本文在实验基础上建立了氧化物半导体气敏膜片的光学特性数学模型，导出了光通过膜片时相对透过率与膜片生长的若干主要因素的定量关系。测试表明，数学模型与实验结果吻合较好。
In order to further study the gas-sensing properties of semiconductor gas sensors, and to further improve their performance, according to the mechanism of semiconductor gas sensors and the propagation of light waves in the conductive medium, an oxide semiconductor gas sensing film The mathematical model of the optical properties of the film is derived and the quantitative relationship between the relative transmittance and the growth of the film when the light passes through the film is derived. The test shows that the mathematical model is in good agreement with the experimental results.
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