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新型精密位移传感器用的CG200型SSPA器件
新型精密位移传感器用的CG200型SSPA器件
来源 :光电工程 | 被引量 : 4次 | 上传用户:danielwu
【摘 要】
:
介绍新型自扫描光栅精密位移传感器用的CG200型SSPA器件,它是一种专用固体图象传感器。文中叙述了其电路工作原理、结构特点和功能及光学增透膜的作用,给出了器件的主要性能指标。最后,简单介绍了CG200构成的自扫描光栅传感器的示意图。实验结果令人满意。
【作 者】
:
吕果林,袁祥辉,陈小强
【机 构】
:
国家教委光电技术与系统开放实验室,重庆大学
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
0年GDGC503.009期
【关键词】
:
光电二极管阵列
位移测量
光栅传感器
Photodiode arrays. Displacement measurement
Grating sensors
【基金项目】
:
国家“八·五”重点攻关项目
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介绍新型自扫描光栅精密位移传感器用的CG200型SSPA器件,它是一种专用固体图象传感器。文中叙述了其电路工作原理、结构特点和功能及光学增透膜的作用,给出了器件的主要性能指标。最后,简单介绍了CG200构成的自扫描光栅传感器的示意图。实验结果令人满意。
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