【摘 要】
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针对原子力显微镜（AFM）在高速扫描下成像误差大的缺点，提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法，并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证。分析和实验结果表明，
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院机器人研究所
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针对原子力显微镜（AFM）在高速扫描下成像误差大的缺点，提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法，并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证。分析和实验结果表明，该成像方法可以较好地处理压电扫描管的动态特性，有效地提高AFM在Z方向上的成像精度，因此得到的扫描图像能够更加真实地反映样品的形貌。
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