【摘 要】
：
针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法。该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈。该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考
【机 构】
：
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,上海微电子装备（集团）股份有限公司
论文部分内容阅读
针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法。该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈。该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置进行仿真验证,与传统的加速度前馈控制方法相比,传统的加速度前馈的位置误差在2.3E~7m,引入djerk前馈后的位置误差在2E~8m。因此,djerk前馈有效地减小位置误差,提升了掩模台系统性能。
其他文献
当前,我国高校教育取得了巨大的发展成就。同时,高校财务风险日益增多。为有效保障高校财务安全,促进高校实现良好发展,有必要对高校财务风险进行深入分析,并立足于高校财务
<正>折枝花卉是中国花鸟画中值得骄傲的艺术生命成果,那么简约的画面,自然生命的小小的一部分,赏心只有三两枝,都成为一种代代相传的伟大的艺术形式,承载着内外生命精神的体
本文梳理了房地产相关税收的结构,分析了房地产相关税收与其他地方收入的关系,以上海为例总结了政府利用房地产相关税收进行的市场调控。主要结论有:我国房地产税收体系存在
当前国际安全形势总体上是和平的,然而在总体和平的大背景下,民众的安全感却并未因此而大大提升,许多国家民众反而普遍存在日益强烈的不安全感,其原因主要在于局部冲突持续、
本文对《中国期刊网.优秀博硕士学位论文数据库》中收录的共64篇2000～2002年以来的图书馆学、情报学、档案学博士、硕士学位论文的关键词、引文数量及引文文献类型等文献特征
宋代文人的交游活动具有艺术化特征,主要表现在雅而不俗的礼物往来,含蓄蕴藉的情感表达和具有文化气息的活动内容。花具有得天独厚的自然属性与文化内涵,宋代文人交游的艺术
从葡萄果园土壤中筛选出可有效抑制葡萄致病菌葡萄白粉病病原菌和葡萄霜霉病病原菌生长的菌株,通过表型生理学、生物化学研究,筛选出的菌株PT4被鉴定为枯草芽孢杆菌。为了增
目的研究心肌缺血/再灌注(MI/R)损伤大鼠经降香水提物(DOA)和降香挥发油(DOO)治疗后血清代谢物的变化,探讨MI/R损伤发病及药物作用机制。方法采集假手术组、MI/R模型组、DOA
目的观察蛇床子素对人永生化角质形成细胞株(HaCaT细胞)增殖和凋亡的影响并探讨其相关机制。方法采用CCK-8法检测HaCaT细胞增殖情况;Hoechst33258荧光染色法观察细胞凋亡形态
民俗文化,即民间的风俗习惯,是一个国家、民族、地区中广大民众所创造、共享、传承的生活文化。民俗文化的交流贯穿于对外汉语教学始末,是外国学生了解一个国家、地区的直接窗口。陕西作为古丝绸之路的起点,有着丰富而灿烂的民俗文化资源。本文通过文献分析法对近三十年来有关文化的、民俗文化的对外汉语教学研究进行综述。发现文化与语言教学密切相关,民俗文化作为语言的承载者,随着社会的发展不断地扩布和变异。因此,本文从