集成电路厂房动力站系统设计

来源 :制冷与空调(四川) | 被引量 : 0次 | 上传用户:digital78
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针对集成电路厂房生产工艺特点,介绍了其动力站冷冻水系统、压缩空气系统、空分制氮系统、热水系统、纯水系统及事故通风系统设计及设备选择。
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