稀土元素修饰双层薄膜的气敏特性

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:king5440
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采用PECVD方法制备Fe2O3/SnO2双层气敏薄膜。利用浸渍方法对稀土元素与铝配制的乳浊液进行表面修饰。测试结果表明,修饰后的双层薄地乙醇或丙酮具有较高的灵敏度与选择性。
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