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多试着相反协调的齿轮 strong 连接基于微机电的系统(MEMS ) ，技术被介绍包括研究，为一些的唯一的信号(UQS ) 的设计，夫妇和制造指定了信息的领域安全。强壮的连接由二组金属组成相反协调的齿轮，二爪 / 棘轮机制，二辆开车微电机和二重设微电机。重设的微电机让相反协调的齿轮由涨撤退爪以便介入的相反协调的齿轮将被减轻。联合精力的元素是有一个圆形的 notched 盘子的一个光电的传感器。相反协调的机制用 ultraviolet-lithographie， galvanoformung 和 abfo