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将MEMS传感器用于各种创新的消费类电子产品设计
将MEMS传感器用于各种创新的消费类电子产品设计
来源 :工业设计 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peiyhpyh
【摘 要】
:
MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。
【出 处】
:
工业设计
【发表日期】
:
2010年7期
【关键词】
:
MEMS传感器
电子产品设计
消费类
创新
立体结构
微机电系统
微米级
机械结构
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MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。
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