Using Finite Element Analysis and Experimental Analysis on Vibration of a Piezoelectric Micro Pump

来源 :应用数学与应用物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaoyao2048

【摘要】

：

Due to the rise of biological and MEMS technology in recent years, some micro flow system components have drawn attention and been developed by many investigato

【作者】

：

Bo-Wun Huang Jung-Ge Tseng Chi

【机构】

：

GraduateInstituteofMechatronicsEngineering,MedicalMechatronicsEngineeringProgram,DepartmentofMechani

【出处】

：

应用数学与应用物理(英文)

【发表日期】

：

2015年8期

【关键词】

：

COMPONENT Micro PUMP FINITE ELEMENT Analysis PIEZOELECTRIC ComponentMicro PumpFi

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Due to the rise of biological and MEMS technology in recent years, some micro flow system components have drawn attention and been developed by many investigators. The importance of micro-pumps manufactured is higher than the other part of micro flow syst

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