【摘 要】
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建立了用于波片位相延迟测量的高精度多功能测试系统，实现了在同一测试系统上应用不同的测试方法，使测试具有可比性。对光谱扫描法、Soleil补偿器法及两种光强法进行了比较测量
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题(No.10473016);中国科学院方向性资金资助项目(No.KJCX2-T04);国家973资金资助项目(No.2006CB806301)
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建立了用于波片位相延迟测量的高精度多功能测试系统，实现了在同一测试系统上应用不同的测试方法，使测试具有可比性。对光谱扫描法、Soleil补偿器法及两种光强法进行了比较测量，并结合测试结果对各种方法进行了系统的误差分析。分析结果表明，对本测试系统而言，光谱扫描法适于测量λ／2波片，测量精度主要由单色仪的精度所决定，其误差〈0．032％；Soleil补偿器法测量精度主要由Soleil补偿器精度决定，其误差〈0．18％；光强法误差与待测波片的延迟量有关，且测试光路与偏振器的缺陷对测量精度影响较大。光谱扫描法与S
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