【摘 要】
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对研磨不充分的硅单晶碎屑进行θ单动XRD实验,得到无规的衍射图像。根据碎屑的SEM扫描图像和进一步模型分析,给实验结果定性解释:碎屑颗粒较大且大小不均匀导致的微取向不均
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对研磨不充分的硅单晶碎屑进行θ单动XRD实验,得到无规的衍射图像。根据碎屑的SEM扫描图像和进一步模型分析,给实验结果定性解释:碎屑颗粒较大且大小不均匀导致的微取向不均匀,使得衍射强度随θ角度变化剧烈。
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