非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lmjgood520

【摘要】

：

为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试系统上,研

【作者】

：

李城钰齐京陈旭

【机构】

：

清华大学电子工程系,北京,100084

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

非蒸散型吸气剂微型离子泵小型真空器件

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试系统上,研究了非蒸散型吸气剂对器件存储和微型离子泵启动特性的影响.模拟了微型离子泵与小型真空器件集成为一体时可能遇到不同气体负载时的实际情况,讨论了新结果的可能应用.

其他文献

关于实行农地股份合作制的几点思考

该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥

期刊

农地股份合作制农地使用权流转资源最佳配置经济发达地区制度创新规范完善土地

活性炭改性研究新进展

期刊

红叶杨在太原地区的适应性研究

为了探索红叶杨(Populus deltoids cv.Zhonghua hongye)是否能够在太原地区成功引种推广,将河南引种的红叶杨移植至太钢植物园,并对其进行观测。结果表明引种定植后的红叶杨

期刊

红叶杨Populus deltoids cv.Zhonghua hongye太原适应性

高速线与既有线列车运行图衔接问题的研究