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非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用
为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with ......
期刊
非蒸散型吸气剂
微型
离子泵
小型真空器件
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