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不同加工处理方法在材料表面产生的晶体缺陷直接决定已加工表面的微观组织结构特征,并影响其使用性能,其中位错的演变尤为显著。对材料加工表面位错参数进行准确的测量与分析,是全面把握材料加工表面微观结构和宏观性能的关键。论文重点阐述了几种主流的位错测量方法及其应用现状,对比了不同测量和分析方法的局限性和应用范围,展望了加工表面材料位错密度测量分析技术的发展趋势。