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期刊论文
微机电系统的研究内容与发展现状
微机电系统的研究内容与发展现状
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanangel1234
【摘 要】
:
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状.
【作 者】
:
李国平
陈子辰
【机 构】
:
宁波大学机械工程系,浙江大学机械与能源工程学院生产工程研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
微机电系统
微执行器
微传感器
集成电路
Microelectromechanicalsystem
Microactuator
Microsensor
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概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状.
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