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期刊论文
半导体材料现状与发展
半导体材料现状与发展
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyzqwww
【摘 要】
:
<正> 前言21世纪,人类将进入'三太'纪元,信息的传输、运算和存储将以以太(1万亿)比特进行。要实行信息技术这一飞跃,半导体产业必须先行。半导体材料是半导体产业的
【作 者】
:
管丕恺
张臣
【机 构】
:
中国电子材料行业协会
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2003年46期
【关键词】
:
半导体材料
硅材料
硅抛光片
单晶片
现状与发展
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<正> 前言21世纪,人类将进入'三太'纪元,信息的传输、运算和存储将以以太(1万亿)比特进行。要实行信息技术这一飞跃,半导体产业必须先行。半导体材料是半导体产业的基础。作为第一代半导体材料的硅材料是半导体材料的主流,已有四十余年的历史。
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