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利用热阴极直流等离子体化学气相沉积技术分别在ＣＨ４－Ｈ２和Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２两种不同的工作环境中沉积金刚石膜，同时利用发射光谱对等离子体气相环境进行了原位诊断。在ＣＨ４－Ｈ２和Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２两种体系中，探测到Ｈ原子和ＣＨ、ＣＨ＾＋、Ｃ２等多种碳氢粒子，发现ＣＨ和ＣＨ＾＋有益于金刚石生长，而Ｃ２是非金刚石相的生长基团。与ＣＨ４－Ｈ２体系所不同的是，在Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２体系中，还产生了ＣＨＯ、ＣＨ