【摘 要】
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报道了EMCORE公司的旋转盘反应器 ,或TurboDisc反应器 ,这是一种带有旋转盘的立式反应器。衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适的生长温度。反应物在初始阶段因高速旋
【机 构】
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EMCORECorporation,145BelmontAve.,SomersetNJ08873,USA,USA
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报道了EMCORE公司的旋转盘反应器 ,或TurboDisc反应器 ,这是一种带有旋转盘的立式反应器。衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适的生长温度。反应物在初始阶段因高速旋转盘的牵引力被竖直向下地泵入 ,然后偏斜形成一个与衬底片托盘平行的流动区域。在“GaNzilla” ,EMCORE公司的一种新型 32 5mm的GaN生产反应器中外延生长了GaN材料。为在蓝宝石衬底上得到高质量的GaN ,采用高的生长压力和高旋转速度 ,可以在这种旋转盘反应器中实现必要的生长条件。还对 p GaN ,InGaN ,
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