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文章对原子光刻进行了深入的分析，介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案，针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积等关键技术，进行了分析和探讨。
原子光刻及关键技术分析
【摘 要】
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文章对原子光刻进行了深入的分析，介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案，针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积等关键技术，进行了分析和探讨。
【机 构】
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桂林电子科技大学
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2006年6期
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