【摘 要】
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采用阳极氧化技术和射频磁控溅射技术在NiTi合金表面分别制备了TiO2 薄膜以及Ti/TiN/TiO2多层薄膜。借助扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、摩擦磨损试验仪及电化学工作站
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采用阳极氧化技术和射频磁控溅射技术在NiTi合金表面分别制备了TiO2 薄膜以及Ti/TiN/TiO2多层薄膜。借助扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、摩擦磨损试验仪及电化学工作站等仪器对薄膜的形貌、结构、摩擦磨损性能及耐腐蚀性能进行了研究。结果表明,镍钛合金经表面处理后,其摩擦磨损性能和耐腐蚀性能均得以不同程度的改善,其中阳极氧化和磁控溅射复合处理的镍钛合金的耐磨性和耐蚀性具有最佳的配合。
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