论文部分内容阅读
MoS2溅射膜具有在潮湿大气中容易发生氧化而失去润滑作用的缺点。为了解决这个问题,将Sb2O3添加于MoS2中,用磁控溅射法制备了MoS2+Sb2O3薄膜,并利用球-盘式磨损试验机考察了它对薄膜摩擦特性的影响。通过XRD、XPS、AFM对MoS2+Sb2O3薄膜的微观结构和形貌及其化学状态进行了分析。实验结果表明:薄膜的微观结构致密、晶粒小、分布均匀,有良好的润滑性、防冷焊性,特别适用于卫星活动部件的固体润滑。