光纤接头V型微槽超精密机床的误差预估

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误差预估是超精密机床设计中的重要环节,在系统的设计阶段用来预测和控制超精密机床的总误差。首先介绍了误差预估在超精密机床设计中的重要作用,对本实验室设计制造的光纤接头V型微槽超精密机床进行简单介绍,详细说明了均方根(RMS)原则在超精密机床误差预估中的应用并计算得到预估误差值。
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