中国电科集团超声扫描显微镜填补国内空白

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近日,中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报共同评选出“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”36个项目。中国电子科技集团公司第45研究所研发的SSJ—100超声扫描显微镜荣获此奖项。
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