【摘 要】
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【正】 微电子机械作为一门新兴学科,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节,正由科学家们的智慧与力量逐步成为现实。美国加尼福利亚大学勃克兰分
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【正】 微电子机械作为一门新兴学科,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节,正由科学家们的智慧与力量逐步成为现实。美国加尼福利亚大学勃克兰分校采用硅制成转子为150微米的微型电机,以此为标志,形成了微电子机械学这门新学科。当然,在此前相当长的一段时间里,人类对微电子机械加工的研究已颇费心力。
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