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在制造光学元件时，常常需要得到十分精确的平面、球面等，为此我们必须检查元件表面的质量，最简单的方法是用样板检验。我们通过观察干涉条纹的形状来判断被检表面的缺陷，从而进行相应的磨制，最终达到我们的标准要求。
薄膜干涉在检查光学元件表面时应用的分析与探讨
【摘 要】
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在制造光学元件时，常常需要得到十分精确的平面、球面等，为此我们必须检查元件表面的质量，最简单的方法是用样板检验。我们通过观察干涉条纹的形状来判断被检表面的缺陷，从而进行
【机 构】
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天水师范学院数信学院
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2006年25期
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