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期刊论文
通孔对金属连线温度分布的影响
通孔对金属连线温度分布的影响
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fantasyq1
【摘 要】
:
详细讨论了考虑通孔自热的金属连线温度分布模型,并通过该模型,计算了不同通孔直径和高度情况下,单一及并行金属连线的温度分布。计算结果表明,通孔直径和通孔高度及并行金属连线
【作 者】
:
裴颂伟
黄河
何旭曙
鲍苏苏
【机 构】
:
华南师范大学计算机学院
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
集成电路
通孔
金属连线
温度分布模型
通孔自热
通孔直径
通孔高度
Integrated circuit
Via
Metal wire
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详细讨论了考虑通孔自热的金属连线温度分布模型,并通过该模型,计算了不同通孔直径和高度情况下,单一及并行金属连线的温度分布。计算结果表明,通孔直径和通孔高度及并行金属连线间的热耦合对金属连线温度分布有重大的影响。
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