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用组合技术和离子束技术相结合的方法进行了硅基发光材料的研究。用组合离子束技术在硅基材料上制备了６４个直径为２ｍｍ的单元－材料芯片，并对硅基材料芯片各单元进行了卢辐背散射，质子弹性散射和扫描阴极射线发光特性分析。组合离子束技术的应用将大大提高材料研究的效率。
硅基材料芯片的组合离子束合成及分析
【摘 要】
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用组合技术和离子束技术相结合的方法进行了硅基发光材料的研究。用组合离子束技术在硅基材料上制备了６４个直径为２ｍｍ的单元－材料芯片，并对硅基材料芯片各单元进行了卢辐背散射，质子弹
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中国博士后基金,上海博士后基金,王宪城博士后基金
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