【摘 要】
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对Fe+Cr改性多元氮化物薄膜，即（TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究，结果表明：（1）这种多元膜膜在600℃以上温度下的氧化增重均低于TiN膜，加热至600℃膜层仍保持良好的光泽，加热
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对Fe+Cr改性多元氮化物薄膜，即（TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究，结果表明：（1）这种多元膜膜在600℃以上温度下的氧化增重均低于TiN膜，加热至600℃膜层仍保持良好的光泽，加热至800℃膜层仍保持完整，没有类似TiN膜的局部脱落现象，这种多元膜具有优于TiN的抗高温氧化性能；（2）600℃氧化1h后，X射线衍射（XRD）谱上没有出现类似于TiN场合下出现的氧化铜的谱线。说明这种多元膜可以有效地抑制铜基体的氧化，具有优于TiN膜的保护性能。
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