【摘 要】
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<正> 在电子工业部门,尤其在半导体器件和集成电路的制造过程中,需要大量高纯度氮气作为保护气、稀释气和运载气等。氮气作为制造大规模集成电路的基础材料,其纯度直接影响到
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<正> 在电子工业部门,尤其在半导体器件和集成电路的制造过程中,需要大量高纯度氮气作为保护气、稀释气和运载气等。氮气作为制造大规模集成电路的基础材料,其纯度直接影响到电子产品的合格率和可靠性。目前一般气体制造厂采用低温精馏方法所提供的氮气纯度往往不能满足半导体工业的技术要求,如市售普氮的纯度为99.5%,纯氮为99.99%,高纯氮为99.999%;特别是目前国内市售高纯氮大都采用高压气体钢瓶贮运,易于受到包装容器的污染。如钢瓶
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