【摘 要】
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据《SolidState Tech》2007年第3期报道,SEMI和Yole的报告显示,目前全球实际MEMS器件的产值在53亿美元左右,预计年复合增长率为13%,到2010年产值可达98.6亿美元,而包含MEMS技
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据《SolidState Tech》2007年第3期报道,SEMI和Yole的报告显示,目前全球实际MEMS器件的产值在53亿美元左右,预计年复合增长率为13%,到2010年产值可达98.6亿美元,而包含MEMS技术的系统销售额是该数字的两倍。大部分的MEMS器件都是基于Si制造的,同半导体产业使用几乎相同(如光刻
According to “SolidState Tech” No. 3 2007 report, SEMI and Yole’s report shows that the current global actual MEMS devices output value of about 53 billion US dollars, the estimated annual compound growth rate of 13%, by 2010 the output value of up to 9.86 billion US dollars , While system sales that include MEMS technology are double that number. Most MEMS devices are based on Si, almost the same as the semiconductor industry (such as lithography
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