【摘 要】
：
用透射电子显微镜、扫描电镜对锑化镓材料切、磨、抛等加工工艺引入的表面损伤进行观察和检测. 结果表明: 切割加工是锑化镓单晶晶片表面损伤层引入的主要工序;锑化镓单晶切
【机 构】
：
北京有色金属总院国家半导体材料工程研究中心
论文部分内容阅读
用透射电子显微镜、扫描电镜对锑化镓材料切、磨、抛等加工工艺引入的表面损伤进行观察和检测. 结果表明: 切割加工是锑化镓单晶晶片表面损伤层引入的主要工序;锑化镓单晶切割片表面极不平整,有金刚砂所引起的较粗桔皮皱纹;其表面损伤层深度≤30 μm;双面研磨的锑化镓晶片表面仍有较粗桔皮皱纹,但比切割片的要细,而且桔皮皱纹的深浅随磨砂(Al2O3)粒径的减小而变细变浅;晶片的表面损伤层深度(≤5 μm)也随着磨砂粒径的减小而减小. 一般情况下,其损伤层的深度约为磨砂粒径的1/2. 机械化学抛光加工的锑化镓晶片表面的
其他文献
2017年6月2日，成都地铁4号线二期工程正式载客试运营。成都地铁4号线二期工程采用“投融资＋设计施工总承包＋回报”的建设模式，总投资92．07亿元。项目正线全长约22km，分为东、西延线
2006年6月10日是国务院批准的中国第一个“文化遗产日”，围绕“文化遗产日”的主题，全国已先后开展了数百计次的纪念活动，作为建筑科技工作者，我们特从如下内容出发，也总结一下已
蜘蛛和昆虫很像，有4对脚，身体分为头胸及腹部，但和昆虫仍然有许多地方不一样（昆虫只有3对脚）。
近期,德铁货运英国公司（DB Cargo UK）宣布,其办公室和铁路公司将在未来全部转换使用可再生电力。DB Cargo UK公司安全、保障与环境部表示：“利用自然能源的流动来创造清洁能源不
胡锦涛总书记在西柏坡讲话中指出:"一个没有艰苦奋斗精神作支撑的民族,是难以自立自强的;一个没有艰苦奋斗精神作支撑的国家,是难以发展进步的;一个没有艰苦奋斗精神作支撑的
由于我国农业和农村经济进入新的发展阶段,农产品供求关系发生了深刻变化,农民增收难度大,影响农民增收的因素有增收渠道单一、结构失衡、产业化进展慢、农外就业难等等,其深
【正】 在目前充满变数的国际环境和对朝鲜资讯占有严重不足的情况下,要全面评价朝鲜的经济现状及其发展趋势是困难的。为此,本文拟从分析中朝经贸交流特别是丹东口岸对朝经
学习材料是教学活动的重要载体之一，不仅仅是获得数学知识、训练学生技能的工具，更是一种思维训练的载体，承载着提升学生学习策略及思维品质的重任。这需要我们在教学中对学习材料进行有意识的拓展，充分挖掘材料的内涵，用尽材料所蕴含的学习功能，不仅能使学生获得数学知识，更能从材料中感悟到蕴含的数学思想方法，全面提升学生的思维品质，促进学生有效发展。对此，笔者从数学计算中渗透数学思考，解决问题中渗透优化思想，统
采用气相渗的方法对K7CuBW11O39导电材料进行了稀土Eu的化学热扩渗, 研究了扩渗前后材料的导电性能.根据材料的TG-DTA测试结果确定了稀土扩渗的温度, 经ICP分析测试表明, 微
全国地震科技大会8月23日在北京召开。此次全国地震科技大会,是经国务院同意,由中国地震局、科技部、国防科工委、中国科学院、自然科学基金会联合组织召开的。