GaAs/AlGaAs HBT器件的S2Cl2钝化

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjzjzj13
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本文采用了一种新的硫钝化方法处理GaAs/AlGaAs异质结台面型晶体管,大大改善了它的直流特性.并通过对其低温性能的研究和钝化过程的实时观测,证明了S2Cl2溶液能十分有效地改善GaAs的表面性质,从而降低了表面复合对器件性能的影响.这种钝化方法有可能发展成为GaAs器件制造中的一种实用钝化工艺.
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