【摘 要】
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用离化团簇束(ICB)沉积法在石英玻璃和云母衬底上形成了C60薄膜,XRD测试表明膜呈多晶结构,原位电阻测试表明膜的室温电阻率超过10^4Ωcm,具有负的电阻温度系数。用80keV P^+,BBr3^+,Ar^+和He^+对C60膜作剂量范围为0 ̄10^16cm^-2的离子注入
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用离化团簇束(ICB)沉积法在石英玻璃和云母衬底上形成了C60薄膜,XRD测试表明膜呈多晶结构,原位电阻测试表明膜的室温电阻率超过10^4Ωcm,具有负的电阻温度系数。用80keV P^+,BBr3^+,Ar^+和He^+对C60膜作剂量范围为0 ̄10^16cm^-2的离子注入,C60膜的电阻率随注入剂量增加而急剧下降,磷注入具有n型掺杂作用,离子与C60分子的相互作用导致C60分子分裂,引起薄膜
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