Piezoresistive detector for MEMS accelerometer displacement sensing

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We have designed a piezoresistive detector to detect the displacement of an accelerometer.We have used a flexible contact force and impact time detector for sensing the acceleration in the time domain.The advantage of using this mechanism is good linearity,compactness,scalability,and the potential to realize a higher precision accelerometer due to time-based measurement.The estimated mechanical and electrical parameters of beam detector are presented.We used COMSOL Multiphysics for designing the detector and Matlab for analysis. We have designed a piezoresistive detector to detect the displacement of an accelerometer. We have used a flexible contact force and impact time detector for sensing the acceleration in the time domain. The advantage of using this mechanism is good linearity, compactness, scalability, and the potential to realize a higher precision accelerometer due to time-based measurement.The estimated mechanical and electrical parameters of beam detector are presented. We used COMSOL Multiphysics for designing the detector and Matlab for analysis.
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