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以（CH3COO）2Zn·2H2O为前驱物，利用溶胶一凝胶旋转涂膜法以普通玻璃为基底制备ZnO薄膜。分别采用x射线衍射仪、紫外一可见分光光度计和扫描电予显微镜等对ZnO薄膜的物相组分、透射率和表面形貌进行测量与表征。研究了热处理温度对ZnO薄膜的物相结构和光学特性的影响。实验结果表明，ZnO薄膜的物相结构和可见光透射率都与热处理温度有关，随着热处理温度升高，ZnO薄膜的晶粒尺寸增大，晶格常数逐渐减小，薄膜的透射率增大。