【摘 要】
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多晶硅在生产过程中会产生对环境有破坏作用的四氯化硅（SiCl4）,要使多晶硅在生产过程中产生的有害物质得到有效利用,大幅降低生产成本,节能降耗,减轻对环境的破坏,则可以利用冷
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多晶硅在生产过程中会产生对环境有破坏作用的四氯化硅（SiCl4）,要使多晶硅在生产过程中产生的有害物质得到有效利用,大幅降低生产成本,节能降耗,减轻对环境的破坏,则可以利用冷氢化生产工艺将其转化为三氯氢硅（SiHCL3）循环使用。在以前多晶硅的生产过程中,由于生成的四氯化硅（SiCl4）会对环境造成污染,且不能够进行二次利用,因此会在一定程度上造成资源的浪费,对企业经济效益的增加产生消极影响。随着科学技术的发展,多硅晶生产中四氯化硅冷氢化转化技术取得了较大的发展,并且其应用也较为广泛。多硅晶冷氢化技术的发展对于多硅晶生产企业的可持续发展起到了很大的作用,也使得企业真正意义上实现了绿色循环发展生产。
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