内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究

来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangmajun
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介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统。利用此系统沉积TiN涂层的结果表明,φ100mm×1000mm316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀,且具有较好的表面特性和机械特性。
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